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GB/T25915.5-2010洁净室及相关受控环境第5部分:运行

发布日期:2022-02-19 11:05 点击:

GB/T25915.5-2010洁净室及相关受控环境第5部分:运行




GB/T 25915.12-2021 英文版 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

 

 

 

 

 

1范围
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态"。
注1:本文件提及的“纳米尺度粒子“是指所有在1维上(纳米片).2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质.
注2:请注意.洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3:本文件未专虑健康与安全事项。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
ISO和IEC在以下网址维护用于标准化的术语数据库:
3.1 通用
3.1.1
洁净室cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子受控。
注1:规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。
注2:也可对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物.微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度等级的其他因素.如粒子.纳米粒子.化学物或微生物浓度等.作出规定并进行控制。
注3:温度、湿度.压力、振动和静电等相关的物理参数.也可按要求受控。
[来源:GB/T 25915. 1- -2021,3.1.1]
3.1.2
洁净区clean zone
空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进人、产生和滞留于空间的粒子受控。
注1:空气悬浮粒子浓度的级别已确定。
注2:也可以对影响洁净度等级的其他因素.如空气中化学物。微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表而洁净度等级的其他因素,如粒子.纳米粒子,化学物或微生物浓度等.作出规定并进行控制。
3.2尺寸
3.2.1
纳米尺度nanoscale( nanometer scale)
尺寸范围约在1 nm~ 100 nm。
注:在此尺寸范围内粒子的特性- - 般不是从较大尺寸的推导而得,但也并非绝对。
[来源:ISO/TS 80004-2:2015. 2.1]
3.2.2
分割粒径particle size cutoff
计数效率为50%的粒径.
注:计数效率解释见附录B.
3.3空气中的粒子
3..3.1
纳米粒子nanoparticle( nanometer particle)
所有外尺寸均为纳米尺度(3.2.1)、最长轴与最短轴没有显著差别的纳米物体。
注:若纳米物质的最长轴线与最短轴线差别显著(一般大于3倍),倾向于使用术语纳米棒或纳米片.面不用纳米粒子。
[来源:ISO/TS 80004-2:2015. 4.4]


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