表面粒子计数器如何进行3Q认证服务

表面粒子计数器如何进行3Q认证服务

“表面粒子计数器”通常指用于洁净环境（如制药、电子、航空航天等行业）中监测空气中尘埃粒子数量和粒径分布的仪器，主流类型包括‌激光尘埃粒子计数器‌和‌凝结核粒子计数器（CPC）‌‌‌。在受监管行业（如GMP环境）中，这类设备常需进行‌3Q认证‌（即IQ、OQ、PQ），以确保其安装、运行和性能符合预期要求。

‌什么是3Q认证？‌

3Q认证是针对仪器或系统的三个确认阶段，不等同于“认证”（Certification），而是‌确认‌（Qualification）过程，核心目的是证明设备在实际使用条件下能持续稳定运行并满足规定要求‌‌：

• ‌IQ（Installation Qualification，安装确认）‌：确认设备已按制造商要求正确安装，包括环境条件（温湿度、洁净度）、电源、气路、文件资料（说明书、合格证、校准证书）等。

• ‌OQ（Operational Qualification，运行确认）‌：在空载或标准负载下，测试设备在操作极限范围内的功能是否正常（如流量稳定性、粒径通道准确性、报警功能等）。

• ‌PQ（Perｆormance Qualification，性能确认）‌：在实际使用条件下，通过标准粒子或已知浓度样品验证设备的测量准确性、重复性、重现性等关键性能指标‌‌

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表面粒子计数器Y09-110SPD

特点：

·符合T/CAMDI 009.1-2020，ISO 21501-4-9，T/CAMDI 009.1-2020，IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11标准
·对曝光机，显影机，蚀刻、黄光偏光板贴附机台
·可快速测量设备表面，实时显示颗粒数值，确认机台、零件表面洁净度
·能降低清洗维护成本，提高设备维护效率
·可确认产品制程前后的粒子分布情况，以确定污染源
·配备多种异形探测头，满足客户多样化需求
·自净时间短，预防保护维护（PM）周期少，效率高

特点：

Y09-110SPD型表面尘埃粒子计数器通过气流方式将附着在表面的颗粒重新进行悬浮，通过采集悬浮颗粒，使用基于激光光学传感器和光散射原理，获取悬浮粒子的散射光信号，进行计数显示。

主要用于半导体晶圆表面、光学元件、集成电路板等生产环境检测。为半导体制程工艺提供数据,提高良品率与可靠性。

原创作者：苏州星源洁净环境科技有限公司