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尘埃粒子计数器的工作原理
发布时间:
2025-04-17 06:13
尘埃粒子计数器的工作原理
尘埃粒子计数器的工作原理
一、核心原理:光散射效应
尘埃粒子计数器基于光散射现象工作,当空气中的微粒通过激光束时,粒子表面会使光线发生散射,散射光强度与微粒表面积成正比。通过测量散射光信号,可反推粒子尺寸及数量13。
二、工作流程分步解析


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采样阶段
内置采样泵以恒定流量(如28.3L/min)抽取空气样本,确保粒子均匀通过检测腔68。 -
光散射触发
激光光源(或白光)照射粒子,粒子表面散射光信号,其强度与粒径相关。例如,0.3μm粒子产生的散射光弱于1μm粒子13。 -
信号转换与放大
光学传感器(如光电倍增管)接收散射光,将其转换为微弱的电脉冲信号,并通过电子线路放大至可处理范围35。 -
信号分析与分类
放大后的电脉冲经数字处理系统与预存的标准粒子信号对比,按脉冲幅度区分粒径(如0.3μm、0.5μm、5μm等),并统计各通道粒子数量67。 -
数据输出与显示
最终结果以“粒子数/立方米”形式显示,部分设备支持多通道粒径分布图及ISO洁净度等级自动判定16。
三、技术实现差异
- 光源类型:激光光源(0.1μm高精度检测)对比白光光源(成本低但灵敏度较低)15。
- 信号处理:高端型号采用多级放大电路和抗干扰算法,可识别重叠粒子信号,减少计数误差57。
- 采样优化:大流量设计(如100L/min)缩短检测时间,适用于百级洁净室快速验证68。
四、典型应用场景
- 半导体车间中检测0.1μm级颗粒,防止晶圆污染56。
- 医院手术室实时监控≥0.5μm粒子浓度,确保无菌环境16。
通过上述原理,尘埃粒子计数器实现了对空气中微粒的精准量化,为洁净环境控制提供关键数据支撑36。

