洁净室施工及验收规范

在电子行业的洁净室建设和验收中，遵循一定的规范是确保洁净度要求得以满足的基础。以下是对《洁净室施工及验收规范》GB 50591-2010的详细解读和指导原则。

施工规范概述

设计基准及标准

洁净室的建设必须依据《洁净室施工及验收规范》GB 50591-2010指导，该规范详细规定了建筑结构、内饰、空气净化系统和消防系统等17个方面的要求，包括必须遵守的规定和验收程序。设计过程中应参考国际标准如ISO 14644-1，并考虑特定行业的需求，例如半导体洁净室应达到百级洁净度标准。

材料与施工要点

选用的建筑装饰材料应是无尘、抗腐蚀和防静电的，例如采用不锈钢板、环氧树脂自流平地面和彩色钢板吊顶。在主体结构的施工中，必须确保混凝土没有裂痕，具有优良的平整度，并使用密封效果好的门窗以降低外界污染。

空气净化系统

空调系统应包括初、中、高效三级过滤器，即HEPA过滤器，并要合理规划送风量、换气次数以及气流的组织方式。此外，空调系统应独立配置，温湿度控制精度需符合生产工艺的要求，且在正式运行前需提前24小时开启以确保系统稳定。

电气系统与防静电措施

电气系统必须满足防爆和防静电的相关规范，所有电缆都应穿管保护，并使用阻燃材料。此外，地面和墙面也需要安装导静电设施，以防止静电积聚对敏感设备或产品造成损害。

验收规范细节

验收阶段划分

• 竣工验收：由建设方组织进行，主要检查施工质量与设计的一致性。
• 功能验收：由第三方检测机构执行，验证系统运行的有效性。
• 使用验收：在模拟实际生产环境的条件下，验证动态状态下的洁净度和压差等关键参数。

关键检测项目

• 洁净度检测：使用粒子计数器测量空气中的粒子浓度，结果应符合ISO或相应国家标准的要求。
• 压差测试：确保洁净区与非洁净区之间维持适当的静压差，以防止污染物扩散。
• 风量与风速：在单向流洁净室中测量平均风速，在非单向流洁净室中计算换气次数。

检测条件与记录

所有检测设备都必须经过校准并处于有效期内。测试前，空调系统应连续运行超过24小时。验收文档应包括材料审批表、隐蔽工程记录、系统调试报告等，并应予以妥善保存。

其他注意事项

在施工过程中，应加强隔离措施，如设置气闸室和缓冲间，以避免交叉污染。同时，还应定期维护空气过滤系统，并及时更换失效的过滤器，以保持长期的洁净度标准。