精准校准气体尘埃粒子计数器的方法

            确保气体尘埃粒子计数器的准确性对于保证测量结果的可靠性至关重要。校准这些仪器不仅需要适当的校准设备，还需要理解其背后的基本工作原则。校准不同型号的粒子计数器前，必须详细了解其流速、采样时间和采样次数等关键参数，并且掌握如何正确解读测试结果。下面，我们将详细介绍校准所需的设备和基本原理。

一、校准所需的设备

• ISO 5级（或100级）洁净室或洁净工作台
• 一台已校准、处于校准有效期内的参考尘埃粒子计数器
• 多种粒径的标准粒子样本
• 能够产生去离子水（DI水）的纯化水系统或相似装置
• 标准粒子气体生成器
• 常规电气设备

二、校准的基本原理

校准过程中，标准粒子通过粒子发生器将液体雾化成气体。这些粒子随后被内置泵通过0.2微米的过滤器进行干燥处理后，进入采样管道。此时，两台尘埃粒子计数器（相同型号）将同时或依次对采样管进行采样测试，并对0.3微米粒径的测试值进行比较校准。如果平均值的误差在20%以内，则认为是合格的。对于不同型号的粒子计数器，了解其特定的流速、采样时间和采样次数是至关重要的，同时，还需要知道如何正确解读测试结果。